瑞典KTH-Royal理工学院使用波形外延横向生长(CELOG)来创建由n型磷化铟(n-InP)和p型硅(p-Si)组成的异质结,通常情况下,由于8%的晶格失配,这样的结位错密度很高,CELOG技术允许KTH创建异质结光电二极管(HJPDs)。
KTH使用(001)p-Si基板在<111>方向切割4°,处理开始有机汽相外延(MOVPE) 50 nm砷化镓(砷化镓)缓冲区和2μm InP籽晶层,然后30μm-diameter p-Si衬底被蚀刻到圆形开口三角晶格中33μm中心到中心的距离(图),采用湿法蚀刻法去除这些开口中的残余砷化镓
CELOG工程种子InP/Si衬底俯视图SEM图像,Si表面为InP籽晶层圆形开口,虚线表示种子在台面上开始生长的方向,插图:InP和Si分布的SEM/EDS图谱,(b)示意图截面n-InP/p-Si HJPD,比例不对。
研究人员认为,更薄的CELOG InP发射层可以实现更高的电流和效率。
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