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ITO靶材在平面显示器领域应用-ITO导电玻璃 2015-08-25

   自从二十世纪九十年代以来ITO靶材技术得到了广泛的发展和应用,在各种新型电子元器件领域发挥了极为重要的作用。特别在平面显示器产业、半导体集成电路制造领域、信息存储产业等产业和领域中都广泛地应用到ITO靶材技术。当今世界正处于信息时代,平板显示器(Flat Panel Display,FPD)是我们接受信息的一个重要视觉窗口。而这些产品在生产制造中都离不开ITO导电玻璃,ITO(Indium Tin Oxide,氧化铟锡)导电玻璃是一种既透明又导电的玻璃,它采用磁控溅射沉积成膜技术,以ITO材料作为溅射靶材,在玻璃基板上生成一层很薄的ITO膜。这层ITO膜同时具有良好的导电性和透光性,适于制作透明显示电极,是平板显示器生产的重要原材料之一。


   ITO导电玻璃按其电阻高低可分为高电阻玻璃(电阻在150~500欧姆)、普通玻璃(电阻在60~150欧姆)、低电阻玻璃(电阻小于60欧姆),并应用于不同驱动模式的LCD显示器。例如:

 

1)TN(扭曲向列))-LCD用ITO导电玻璃,此类ITO导电玻璃的主要特点是:电阻较高,表面不需抛光处理。其制作流程为:基片玻璃→镀前清洗→镀SiO2膜→镀ITO膜此类显示器的显示特点是以字段式显示为主,主要是数字、字母、简单图案等,产品主要应用于:计算器、游戏机、普通仪表、电子钟表、小家电等。


2)STN(超扭曲向列)-LCD用ITO导电玻璃STN-LCD的显示以点阵为主,其ITO线条很细,保证了其导电性,降低了ITO导电玻璃的电阻。该显示器对ITO导电玻璃提出了更高的要求,主要是基板玻璃表面更加平整,表面电阻要低。其制作流程为相对于TN-ITO导电玻璃增加了抛光工序。其工艺流程为:基片玻璃→抛光→镀前清洗→镀SiO2膜→镀ITO膜,此类显示器主要用于:黑白显示手机、电子辞典、游戏机、办公设备、普通MP3、电子仪表等.

3)CSTN(彩色超扭曲向列)-LCD用ITO导电玻璃。CSTN-LCD用ITO导电玻璃,又称为彩色滤光片(Color Filter,CF),它是先在基板玻璃上做出红绿蓝(RGB)三原色色素图形,然后在其上镀制ITO膜层。通过相应的LCD制造工序,可以实现控制每个RGB色素的透光率的变化,合成出不同颜色的像素,从而实现彩色显示。其工艺流程为:基片玻璃→抛光→镀SiO2膜→CF制作→镀SiO2膜→镀ITO膜。产品主要用于:彩屏手机、彩屏MP3、PDA、高档电器控制面板、数码照相机等。

4)TFT(薄膜晶体管)-LCD用ITO导电玻璃,该导电玻璃基板玻璃材质不同,通常LCD用ITO导电玻璃的材质为钠钙玻璃,而TFT-LCD用ITO导电玻璃均使用无碱低膨胀系数的硼硅玻璃,以保证其较高的温度稳定性。其工艺流程:基片玻璃→抛光→镀前清洗→镀SiO2膜→镀ITO膜,主要有彩色液晶电视机、笔记本电脑、多功能手机、数码摄像机、数码照相机、MP4等。
ITO导电玻璃除了在显示器应用上外,更在显示器不可缺少的查询和输入部件—触摸屏上有着重要的应用。众所周知,显示器的触控式面板系统是一种利用传感器来确定手指触摸屏幕的位置的坐标,并能够将位置信号传送给主机去处理的显示设备。利用触控式面板上氧化铟氧化物导电玻璃(ITO Glass)和导电薄膜(ITO Film)电场来变化,来侦测手指或者物体接触面板的位置,并将信息传到计算机的操作系统。因此ITO透明导电玻璃极佳的导电性,其对于显示器的接触灵敏性在其中起到了关键的左右。


   ITO导电玻璃作为平板显示器产品的重要原材料,今后的发展方向仍将是低表面电阻或高表面电阻、高性能彩色化、高表面品质、多种材料基板、新成膜技术、特殊性能膜层等方面,以满足快速发展的平板显示器行业的需要。当然优质高致密度的ITO靶材原材料,是生产优异性能的ITO透明玻璃先决条件。当前生产上应用率较高的是氧化铟与氧化锡粉烧结靶材,其具有电导率高,膜厚控制精确,沉积速度快的特点,然而这两种物质的烧结有一定的困难,靶材的制作难度较大。因此,要继续开发ITO靶材在平面显示器领域的市场,就要继续研究新的靶材原料,生产满足高端平板显示器行业靶材迫在眉睫。

 

   盛特新材料有限公司顺应市场潮流,独具匠心,专业提供高品质溅射靶材,陶瓷靶材等。本公司可以根据客户的生产技术参数要求,生产不同大小和形貌的高品质靶材产品。产品通过各种方法(磁控溅射、真空镀等)应用于真空镀膜的各种领域:科学研究,航天航空,平面显示器产业,太阳能电池透明电极,透明加热组件,电磁波防护膜,微电子及集成电路产业,光学及光电产业,装饰,存储媒体产业。




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